多晶硅（polycrystalsilicon）
多晶硅（polycrystalsilicon）
由大量取向不同的小的硅單晶體構成的薄膜或體硅材料稱為多晶硅。非摻雜的多晶硅具有很高的電阻率，一般為106～107Ωcm。多晶硅中由于大量晶粒間界的存在形成缺陷態，使自由載流子的濃度減少，散射大大增加，遷稱率減少，雜質擴散系數增加。
