壓電半導(dǎo)體(piezoelectricsemiconductor)
某些電介質(zhì),當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象,同時(shí)在它的兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷,當(dāng)外力去掉后,又重新恢復(fù)不帶電狀態(tài),這種現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。利用這種效應(yīng)可以把機(jī)械應(yīng)力量轉(zhuǎn)換成電量。壓電半導(dǎo)體是兼有壓電性質(zhì)的半導(dǎo)體材料。CdS、CdSe、ZnO、ZnS、CdTe、ZnTe等Ⅱ-Ⅵ族化合物,GaAs、GaSb、InAs、InSb、AIN等Ⅲ-Ⅴ族化合物都屬于壓電半導(dǎo)體。它們具有一定的離子性,當(dāng)施以應(yīng)變時(shí),正負(fù)離子會(huì)分開一定的距離,產(chǎn)生電極化,形成電場(chǎng),發(fā)生壓電效應(yīng)。聲波在這些壓電材料中傳播時(shí)也會(huì)產(chǎn)生壓電電場(chǎng),載流子便會(huì)受到該電場(chǎng)的作用。壓電半導(dǎo)體兼有半導(dǎo)體和壓電兩種物理性能,因此,既可用它的壓電性能研制壓電式力敏傳感器,又可利用其半導(dǎo)體性能加工成電子器件,將兩者結(jié)合起來,就可研制出傳感器與電子線路一體化的新型壓電傳感測(cè)試系統(tǒng)。
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